愛知工業大学 工学部 電気学科 教授(博士(工学))

清家 善之 氏

1990年4月 旭サナック株式会社入社…静電塗装機用高電圧発生回路の開発、半導体デバイス・FPD洗浄装置製造販売、電子デバイス用製膜装置の製造販売技術統括・品質保証室長
2004年〜2006年 米国アリゾナ大学客員研究員…半導体デバイスの精密加工プロセス(CMP)の研究
2007年9月 埼玉大学(学位取得)
2016年4月 愛知工業大学 工学部 電気学科 教授
2016年〜2021年 旭サナックに向けて品質管理勉強会講師(兼職)
2022年 半導体洗浄に関するweb講習 講師
2022年8月 la quaLab合同会社 設立(愛知工業大学 教員との兼職)

<研究>
半導体デバイスや液晶パネル等の洗浄装置の開発設計に従事、有機デバイス(有機系太陽電池)の製作プロセスに関する研究に従事
<学協会>
応用物理学会、電気学会、電子情報通信学会、静電気学会、精密工学会、The Electrochemical Society、ECS