シングルナノ粒子径測定装置　ＩＧ－１０００ （島津製作所）

　１０ナノメートル（ナノは１０億分の１）以下の微粒子の粒子径と粒子径分布を測定する装置。独自開発した粒子径測定技術「誘導回折格子法（ＩＧ法）」を初めて採用し、０・５ナノ－２００ナノメートルの粒子径を従来製品よりも高精度で、短時間に測れるようにした。

　ＩＧ法は液中に分散する粒子を誘電泳動の作用で集めて回折格子をつくり、これを崩壊させて拡散する速度から粒子径を求める手法。粒子は大きいとゆっくり動き、小さければ速く拡散する性質を測定原理に利用した。

　従来の粒子径測定は粒子に光を当て、散乱光から径を求めていたが、粒子径が小さくなると散乱光強度が弱くなり、正確な測定が難しかった。新技術は粒子の大きさに左右されず測定でき、検査時間も他社従来品の約４分の１の３０秒で済む。

　多様な分野で素材のナノサイズ化が進んでおり、品質管理のための粒子径と粒子分布の正確な測定が求められていた。